| 发明名称 |
Semiconductor wafer holder with cvd silicon carbide film coating |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0908932(B1) |
申请公布日期 |
2003.11.19 |
| 申请号 |
EP19980250438 |
申请日期 |
1997.09.03 |
| 申请人 |
NIPPON PILLAR PACKING CO., LTD. |
发明人 |
INOUE, KAZUO |
| 分类号 |
H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00;C23C16/32 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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