| 发明名称 |
Procedure and microscope to detect an object |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1273878(A3) |
申请公布日期 |
2003.11.19 |
| 申请号 |
EP20020100757 |
申请日期 |
2002.06.27 |
| 申请人 |
LEICA MICROSYSTEMS SEMICONDUCTOR GMBH |
发明人 |
RINN, KLAUS, DR. |
| 分类号 |
G02B21/00;G01B11/02;G02B21/36;(IPC1-7):G01B11/02 |
主分类号 |
G02B21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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