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发明名称
PROJECTION LENS COMPRISING AN EXTREMELY HIGH APERTURE
摘要
申请公布号
AU2003232226(A1)
申请公布日期
2003.11.17
申请号
AU20030232226
申请日期
2003.04.30
申请人
CARL ZEISS SMT AG
发明人
KARL-HEINZ SCHUSTER
分类号
G02B13/24;G02B13/14;G02B13/18;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G02B13/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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