发明名称 |
Method of isolating adjacent components of a semiconductor device |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2003233867(A8) |
申请公布日期 |
2003.11.17 |
申请号 |
AU20030233867 |
申请日期 |
2003.04.28 |
申请人 |
UNIVERSITY OF NEWCASTLE UPON TYNE |
发明人 |
ANTHONY GERARD O'NEILL |
分类号 |
H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/762 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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