发明名称 Method of isolating adjacent components of a semiconductor device
摘要
申请公布号 AU2003233867(A8) 申请公布日期 2003.11.17
申请号 AU20030233867 申请日期 2003.04.28
申请人 UNIVERSITY OF NEWCASTLE UPON TYNE 发明人 ANTHONY GERARD O'NEILL
分类号 H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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