| 发明名称 |
Projection method comprising pupillary filtration and a projection lens therefor |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2003224089(A8) |
申请公布日期 |
2003.11.17 |
| 申请号 |
AU20030224089 |
申请日期 |
2003.04.17 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
ULRICH HAAG;CHRISTIAN HEMBD-SOLLNER;RUDOLF VON BUNAU;HUBERT HOLDERER |
| 分类号 |
G02B5/10;G02B17/08;G02B26/06;G02B27/58;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B26/08 |
主分类号 |
G02B5/10 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
