| 发明名称 |
Optical element for scanning system and method of manufacture thereof |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2002367808(A8) |
申请公布日期 |
2003.11.17 |
| 申请号 |
AU20020367808 |
申请日期 |
2002.09.25 |
| 申请人 |
GSI LUMONICS CORPORATION |
发明人 |
ALVARO KAPLAN;MICHAEL B. NUSSBAUM |
| 分类号 |
C23C16/32;G02B1/04;G02B5/08;(IPC1-7):G02B5/08 |
主分类号 |
C23C16/32 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
