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发明名称 VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINES MIKRO- ELEKTROMECHANISCHEN ELEMENTS
摘要
申请公布号 AT252225(T) 申请公布日期 2003.11.15
申请号 AT19990948889T 申请日期 1999.09.29
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 NEUMEIER, KARL;BOLLMANN, DIETER
分类号 G01L9/00;G01L13/02;G01P15/08;(IPC1-7):G01L13/02;G01L9/06;G01L9/12 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
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