发明名称 | 八氟丙烷的纯化方法、其制备方法及其用途 | ||
摘要 | 本发明的纯化八氟丙烷的方法包括以下步骤:使含有杂质的粗八氟丙烷与杂质分解剂在高温下接触,然后与吸附剂接触,以便从粗八氟丙烷中基本上除去杂质。根据本发明的纯化或制备八氟丙烷的方法,可以基本上除去杂质例如氯化合物,并容易地获得高纯度的八氟丙烷。通过本发明的纯化方法获得的八氟丙烷基本上不含杂质,所以可用作半导体设备等的生产工艺中的蚀刻或清洁气体。 | ||
申请公布号 | CN1455764A | 申请公布日期 | 2003.11.12 |
申请号 | CN02800082.X | 申请日期 | 2002.01.11 |
申请人 | 昭和电工株式会社 | 发明人 | 堀场美奈子;铃木泰宏 |
分类号 | C07C17/395;C07C17/389;C07C17/04;C07C19/08;H01L21/3065;C11D7/50 | 主分类号 | C07C17/395 |
代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 林柏楠;段承恩 |
主权项 | 1.一种纯化八氟丙烷的方法,包括以下步骤:使含有杂质的粗八氟丙烷与杂质分解剂在高温下接触,然后与吸附剂接触,以便从所述粗八氟丙烷中基本上除去所述杂质。 | ||
地址 | 日本东京 |