| 主权项 |
1.一种真空排气系统,其特征为包含:排气泵系统,其系具有沿排气方向串联排列之复数监视带域;上述监视带域分别具有之感测器,其系分别独立检测上述监视带域之上述排气泵系统状态;上述监视带域分别具有之加热器,其系与该感测器成对;及监视、控制装置,其系分别接收来自上述感测器之资料信号,比较该资料信号与临限値,来自特定感测器之上述资料信号超过上述临限値时,将加热用电力选择仅供给上述特定感测器配置之上述监视带域之加热器。2.一种真空排气系统,其特征为系规定复数排气要素之一群向一定排气方向连接者,其至少包括:特定排气要素,其系含于上述复数排气要素之一群;第1阀,其系连接于该特定排气要素之进气侧配管;分歧真空配管,其系将一方之排气侧配管连接于该第1阀;第2阀,其系连接于该分歧真空配管之另一方排气侧配管;旁路配管,其系将进气侧配管连接于该第2阀;其他排气要素,其系将一方进气侧配管连接于上述定排气要素之排气侧配管,将另一方进气侧配管连接于上述旁路配管之排气侧配管;感测器,其系连接于上述特定排气要素之进气侧配管、上述特定排气要素之排气侧配管、及上述特定排气要素之本体内中至少其一;及监视、控制装置,其系接收来自该感测器之资料信号,比较该资料信号与临限値,上述资料信号超过上述临限値时,将关闭上述第1阀、开启上述第2阀之信号,分别供给上述第1及第2阀。3.如申请专利范围第1或2项之真空排气系统,其中上述感测器为振动测定计。4.如申请专利范围第1或2项之真空排气系统,其中上述感测器为温度测定计。5.一种真空排气系统之监视控制方法,其特征为包括:以具有沿排气方向串联排列之复数监视带域之排气泵系统,将反应性气体及该反应性气体之反应副产物气体真空排气之步骤;以上述监视带域分别具有之感测器,分别独立检测上述监视带域之上述排气泵系统状态之步骤;及分别接收来自上述感测器之资料信号,比较该资料信号与临限値,来自特定感测器之上述资料信号超过上述临限値时,将加热用电力选择仅供给上述特定感测器配置之上述监视带域之加热器之步骤。6.一种真空排气系统之监视控制方法,其特征为包括:以排气泵系统将反应性气体及该反应性气体之反应副产物气体真空排气之步骤;而排气泵系统包含:第1阀,其系连接于该特定排气要素之进气侧配管;分歧真空配管,其系将一方之排气侧配管连接于该第1阀;第2阀,其系连接于该分歧真空配管之另一方排气侧配管;旁路配管,其系将进气侧配管连接于该第2阀;及其他排气要素,其系将一方进气侧配管连接于上述特定排气要素之排气侧配管,将另一方进气侧配管连接于上述旁路配管之排气侧配管;以感测器检测上述特定排气要素状态之步骤;而感测器连接于:上述特定排气要素之进气侧配管;上述特定排气要素之排气侧配管;及上述特定排气要素之本体内中至少其一,接收来自该感测器之资料信号,比较该资料信号与临限値,上述资料信号超过上述临限値时,将关闭上述第1阀、开启上述第2阀之信号,分别供给上述第1及第2阀之步骤。图式简单说明:图1系本发明第1实施形态有关之真空排气系统概念构造图。图2系本发明第1实施形态有关之真空排气系统更详细模式构造图。图3系本发明第2实施形态有关之真空排气系统模式构造图。图4系本发明之其他实施形态有关之真空排气系统模式构造图。 |
