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发明名称 Verfahren zum Füllen eines Hohraumes in einem Substrat
摘要
申请公布号 DE69233222(D1) 申请公布日期 2003.11.06
申请号 DE19926033222 申请日期 1992.05.21
申请人 TRIKON TECHNOLOGIES LTD., THORNBURY 发明人 DOBSON, CHRISTOPHER DAVID
分类号 C23C14/22;C23C16/00;C23C16/44;H01L21/00;H01L21/3105;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;H05K3/40;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/310 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
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