| 发明名称 |
CHEMISCHE MIKROREAKTOREN UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59809806(D1) |
申请公布日期 |
2003.11.06 |
| 申请号 |
DE1998509806 |
申请日期 |
1998.02.17 |
| 申请人 |
ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH |
发明人 |
BREUER, NORBERT;MEYER, HEINRICH |
| 分类号 |
G01N37/00;B01J19/00;F28D9/00;F28F3/04;G03F7/00;(IPC1-7):G03F7/00 |
主分类号 |
G01N37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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