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发明名称 Micro-processing apparatus and method therefor
摘要
申请公布号 EP0735564(B1) 申请公布日期 2003.11.05
申请号 EP19960105077 申请日期 1996.03.29
申请人 EBARA CORPORATION;HATAMURA, YOTARO 发明人 HATAKEYAMA, MASAHIRO;ICHIKI, KATSUNORI;KATO, TAKAO;KAJIYAMA, MASAAKI;TSUZUKI, TAKASHI;HATAMURA, YOTARO;NAKAO, MASAYUKI
分类号 H01J37/20;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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