液晶显示器制造设备之湿式处理槽及流体供应系统

摘要

本发明系提供一种液晶显示器制造设备之流体供应系统及湿式处理槽。流体供应系统包括一整合储存槽之处理槽，其系将流体收集槽与流体储存槽整合。此小尺寸之储存槽系个别提供至每一个处理槽上。此外，湿式处理槽的主体系由表面披覆有化学物抵抗材质的耐久材质所制成。因此，湿式处理单元皆可被广泛地使用，不会因为不同型态的化学流体而有所影响。