发明名称 METHOD FOR PRODUCING PHOTOMASK BLANK
摘要
申请公布号 KR20030084665(A) 申请公布日期 2003.11.01
申请号 KR20030025404 申请日期 2003.04.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;C23C14/18;C23C14/34;C23C14/54;C23C14/58;G03F1/32;G03F1/54;G03F1/68 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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