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发明名称
METHOD FOR PRODUCING PHOTOMASK BLANK
摘要
申请公布号
KR20030084665(A)
申请公布日期
2003.11.01
申请号
KR20030025404
申请日期
2003.04.22
申请人
发明人
分类号
H01L21/027;C23C14/18;C23C14/34;C23C14/54;C23C14/58;G03F1/32;G03F1/54;G03F1/68
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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