发明名称 DIAMOND FILM AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20030084602(A) 申请公布日期 2003.11.01
申请号 KR20030022149 申请日期 2003.04.09
申请人 发明人
分类号 C30B29/04;H01L21/027;C23C16/27;C30B25/10 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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