带厚度测量系统的旋转刻蚀器

摘要

一种带有厚度测量系统的旋转刻蚀器，包括可旋转的自旋头、蚀刻剂供应装置和蚀刻剂供应控制器。衬底被安装在自旋头上。蚀刻剂供应装置被置于衬底上方，并且向衬底喷射蚀刻剂。蚀刻剂供应控制器控制蚀刻剂的供应。该旋转蚀刻器还包括一个主控制器，它用于将停止供应蚀刻剂的信号传送给厚度测量系统和蚀刻剂供应控制器。厚度测量系统允许光照射到衬底表面，并且通过对来自衬底的反射光的干涉信号进行分析以测量薄膜的厚度。主控制器对厚度测量系统测量的结果与一参考值进行比较，并在测量结果达到该参考值之前将停止供应蚀刻剂的信号传送给蚀刻剂供应控制器。在蚀刻剂的供应被停止后的一个预定时间内，薄膜受到残留在衬底上的蚀刻剂的再一次蚀刻。作为结果，薄膜的厚度达到了上述参考值。

主权项

1.一种旋转刻蚀器，包括：其上安装有衬底的可旋转的自旋头；用于将蚀刻剂喷射到衬底上的蚀刻剂供应装置，所述蚀刻剂供应装置被放置在衬底上方；用来控制蚀刻剂供应的蚀刻剂供应控制器；厚度测量系统，用于使光照射在衬底表面并通过对来自衬底的反射光的干涉信号进行分析来测量形成在衬底表面上的薄膜的厚度；以及主控制器，用于对所述厚度测量系统的测量结果与一参考值进行比较，并且在测量出的结果达到所述参考值之前将停止供应蚀刻剂的信号传送给所述蚀刻剂供应控制器。