电容式微机械开关

摘要

本发明公开了一种在微电子机械系统中使用的电容式微机械开关，包括：半导体衬底，在半导体衬底上设有桥墩、共平面波导信号线、地平面和平膜梁，在位于平膜梁下方的共平面波导信号线上设有绝缘介质层，在平膜梁的两端设有凹形缺口，桥墩通过“T”形支撑梁与平膜梁的凹口端连接。本发明利用“T”字形结构的支撑梁来降低开关梁的等效弹性系数，同时释放梁内的残余应力，以达到降压开关阈值电压的目的，因此本发明具有低阈值、开关寿命长的优点；再由于本发明所采用的这种开关结构能够采用平面制作工艺来制造，故本发明能够简化制作工艺。

主权项

1、一种在微电子机械系统中使用的电容式微机械开关，包括：半导体衬底(1)，其特征在于在半导体衬底(1)上设有桥墩(2)、共平面波导信号线(4)、地平面(5)和平膜梁(6)，在位于平膜梁(6)下方的共平面波导信号线(4)上设有绝缘介质层(3)，在平膜梁(6)的两端设有凹形缺口(61和62)，桥墩(2)通过“T”形支撑梁(7)与平膜梁(6)的凹口端连接。