抛光装置

摘要

一种抛光装置包括抛光垫、衬底固定器和固定环。抛光垫粘附到抛光台。当衬底固定器固定作为抛光靶的衬底时，衬底固定器将衬底的抛光靶表面推向抛光垫。固定环形成在衬底固定器的固定表面上，对应于衬底的周边。固定环具有形成在它的表面上与抛光垫接触的树脂部分，以及固定树脂部分并由比所述树脂部分有更高机械强度的材料制成环行树脂固定部分。

主权项

1.一种抛光装置，特征在于包括：粘附到抛光台(110)上的抛光垫(102)；衬底固定器(109)，固定作为抛光靶的衬底(105)时，将衬底的抛光靶表面推向所述抛光垫；以及固定环(101、301、311)，形成在所述衬底固定器的固定表面上对应于衬底周边，所述固定环具有形成在它的表面上与所述抛光垫接触的树脂部分(101a、301a、311a)，以及固定所述树脂部分并由比所述树脂部分有更高机械强度的材料制成的环形树脂固定部分(101b、301b、311b)。