| 发明名称 |
Polymeric antireflective coatings deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003223582(A8) |
申请公布日期 |
2003.10.27 |
| 申请号 |
AU20030223582 |
申请日期 |
2003.04.11 |
| 申请人 |
BREWER SCIENCE, INC. |
发明人 |
WU-SHENG SHIH;RAM W. SABNIS |
| 分类号 |
C23C14/12;G02B1/11;G03F7/09;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/30 |
主分类号 |
C23C14/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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