| 发明名称 |
Method of etching substrates |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003230752(A8) |
申请公布日期 |
2003.10.27 |
| 申请号 |
AU20030230752 |
申请日期 |
2003.03.31 |
| 申请人 |
ORIOL, INC. |
发明人 |
CHANG-HYUN JEONG;WOLFRAM URBANEK;DONG-WOO KIM;MYUNG CHEOL YOO;YOUN-JOON SUNG;KYONG-NAM KIM;GEUN-YOUNG YEOM |
| 分类号 |
H01L21/3065;G03F9/00;H01B13/00;H01L21/00;H01L21/301;H01L21/302;H01L21/44;H01L21/46;H01L21/78;H01L33/00;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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