| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM MONTIEREN, HALTERN ODER ABMONTIEREN EINES WAFERS SOWIE EINRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT411197(B) |
申请公布日期 |
2003.10.27 |
| 申请号 |
AT20010000244 |
申请日期 |
2001.02.16 |
| 申请人 |
DATACON SEMICONDUCTOR EQUIPMENT GMBH |
发明人 |
REINERT WOLFGANG |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68;H05K13/02;B65G49/07;B65H5/08;B65H3/08;B65H29/24;C23C14/50 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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