油墨喷头的制造方法

摘要

本发明提供在喷嘴表面设憎水领域与非憎水领域，不增加工序数而以正确的位置精度在油墨喷头的喷嘴表面形成憎水部分和亲水部分，可实现打印品位提高的油墨喷头及其制造方法。在有喷出油墨的喷出口排列的喷出口构件的油墨喷头及其制造方法中，前述喷出口构件由第1感光性树脂层和叠层在该第1感光性树脂层上有憎水性的第2感光性树脂层形成，对这些的层进行图案曝光、显象处理，成为具有除去前述的第1感光性树脂层和前述的第2感光性树脂层的双方的部分、和部分地除去前述第2感光性树脂层的部分的构成。

主权项

1.油墨喷头的制造方法，其特征在于在有喷出油墨的喷出口排列的喷出口构件的油墨喷头的制造方法中，有在形成油墨喷出压力发生元件的基体上，用可溶解的树脂形成油墨流路图案的工序、和在前述油墨流路图案上，为了形成前述喷出口构件而叠层第1感光性树脂层的工序、和在前述第1感光性树脂层上，为了形成前述喷出口构件而叠层有憎水性的第2感光性树脂层的工序、和用掩膜同时将前述第1感光性树脂层与第2感光性树脂层进行图案曝光、同时通过在该图案曝光时部分地控制曝光部分的曝光领域使潜象深度不同，形成到达第1感光性树脂层底部的第1潜象图案、和超过第2感光性树脂层、且不到达第1感光性树脂层底部的第2潜象图案的工序、和通过将图案曝光的前述第1感光性树脂层与第2感光性树脂层进行显象，形成喷出口与第1感光性树脂层露出的亲水露出部分的工序、和除去前述可溶解的树脂形成的油墨流路图案的工序。