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发明名称 PATTERN-FORMING MATERIAL AND METHOD OF FORMING PATTERN
摘要
申请公布号 KR20030082560(A) 申请公布日期 2003.10.22
申请号 KR20037008720 申请日期 2003.06.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G03F7/004;G03F7/039 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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