| 摘要 |
本发明之雷射退火装置(10)具备将1条雷射光分割成相互无干扰性之4条雷射光之光分割部(14)。光分割部(14)具备平行并列之第一及第二分束器(21，22)及反射镜(23)。第一分束器(21)内入射自雷射光源射出之雷射光。第二分束器(22)内入射来自第一分束器(21)之透过光，及藉由反射镜(23)反射后之第一分束器(21)之雷射光。第二分束器(22)射出2条透过光至外部，反射镜(23)进一步反射第二分束器(22)之反射光并射出外部。第一分束器(21)与第二分束器(22)之距离，及第一分束器(21)与反射镜(23)之距离，于入射角为θ，可干扰距离为L时，系在L／(2cosθ)以上。 |
