基板之涂布方法及进行该方法之装置

摘要

本发明系有关一种使至少一基板涂布一薄膜之方法，其在一反应器（1）之反应室（2）中进行，至少一存放在一容器（11）中之固体或液体材料（15）成为气体或气悬体而被一携带气体输入反应室（2）中，前于该处凝结于一基板（3）上，该固体或液体材料（15）被保持在一高于基板温度的材料源温度下。为可精确调整决定元件特性之组成成分、薄膜叠层及介面特性，而使携带气体流过材料（15），并以至少一阀门（8）及一质流控制器（9）控制气态材料之输入反应室（2）。