化学放大型正阻剂组成物

摘要

本发明系提供化学放大型正阻剂组成物，包括（A）具有酚骨架之树脂，其中该酚骨架含有可藉由酸作用而解离之保护基，该酚骨架本身不溶于或不易溶于硷性水溶液中，而在保护基解离之后，该酚骨架会变成可溶于硷性水溶液中，（B）以三甲基乙醯基保护聚（对羟基苯乙烯）中的部分羟基所得到之树脂，及（C）酸产生剂。