光盘的母盘及其制造方法

摘要

提供一种用以制造记录信息的光盘的母盘及其制造方法。由于第一和第二光刻层相继沉积到基片上，曝光于预定波长激光束下时，第一感光层不如第二感光层敏感，母盘能通过有选择地曝光和蚀刻感光层来制造，这样就使得槽和从槽上凹入的信息坑之间的边界能清晰地界定，槽和信息坑具有与基片大体垂直的内壁，所以由这种母盘生产出来的光盘其再现性能提高了。

主权项

1.一种制造光盘的母盘的方法，包括如下步骤：在基片上形成能与预定波长激光束发生光化反应的第一感光层；在第一感光层上形成能与同一激光束发生光化反应的第二感光层，它比第一感光层敏感；提供预定波长的第一与第二激光束；用第二激光束曝光第二感光层的预定部位；及用第一激光束曝光位于第二感光层曝光部位之下的第一感光层的预定部位，其中第二感光层的预定部位曝光于第二激光束，而第二激光束绕第一激光束的光轴在两侧反复偏转。