| 发明名称 |
SILICON MONOXIDE SINTERED PRODUCT AND SPUTTERING TARGET COMPRISING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003220872(A1) |
申请公布日期 |
2003.10.13 |
| 申请号 |
AU20030220872 |
申请日期 |
2003.03.27 |
| 申请人 |
SUMITOMO TITANIUM CORPORATION |
发明人 |
TADASHI OGASAWARA;MUNETOSHI WATANABE;KAZUOMI AZUMA;TOSHIHARU IWASE;YOSHITAKE NATSUME |
| 分类号 |
C04B35/14;C23C14/34;(IPC1-7):C04B35/01;C23C14/38 |
主分类号 |
C04B35/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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