发明名称 Einrichtung zur Aufbewahrung und zum Transport von mindestens einem optischen Bauelement
摘要 Bei einer Einrichtung zur Aufbewahrung und zum Transport von mindestens einem optischen Bauelement besteht die Aufgabe, die optischen Elemente nicht nur bei der Lagerung und beim Transport, sondern auch beim funktionsfähigen Einbau in den optischen Projektionsstrahlengang vor Verunreinigungen zu schützen, so dass die sofortige Arbeitsfähigkeit gewährleistet ist. DOLLAR A Das wird dadurch erreicht, dass jedes optische Bauelement justiert auf einem, in einem Behälter vorgesehenen Träger befestigt ist, an dem ein Manipulator zum Überführen des Trägers durch eine bei geöffneter Behältertür bestehende Schleusenöffnung hindurch in einen, von einem Reinstraum umschlossenen optischen Strahlengang angreift. DOLLAR A Die Einrichtung ist besonders dort verwendbar, wo Optiken vor Umwelteinflüssen geschützt aufbewahrt und manipuliert werden müssen.
申请公布号 DE10164529(C1) 申请公布日期 2003.10.09
申请号 DE20011064529 申请日期 2001.12.18
申请人 JENOPTIK LASER, OPTIK 发明人 DRESLER, THOMAS
分类号 G03F7/20;G02B27/00;H01L21/027;(IPC1-7):G02B7/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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