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发明名称 RASTERELEKTRONENMIKROSKOP MIT ELEKTROSTATISCHEM OBJEKTIV UND ELEKTRISCHE ABTASTVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE69817787(D1) 申请公布日期 2003.10.09
申请号 DE19986017787 申请日期 1998.12.14
申请人 FEI CO., HILLSBORO 发明人 KRANS, M.;KRIJN, P.;HENSTRA, ALEXANDER
分类号 H01J37/147;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
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