用于激光共聚焦生物芯片的扫描装置

摘要

用于激光共聚焦生物芯片的扫描装置，在一个可在二维平面内任意移动的运动结构上设置有一个可承托被检测芯片的承片台，其上方设置有扫描用激光光学结构系统。该光学结构系统包括有能将扫描用的照射激光聚焦于位于承片台上的被检测芯片上的第一透镜结构，和用于将激光输出结构投射来的照射激光向第一透镜结构反射的二色分光镜；在沿第一透镜结构光轴方向的二色分光镜的另一侧，沿光路依次设置有滤光结构、成像透镜结构、小孔光阑和光电转换/输出结构。可在二维平面内任意移动的运动结构包括由Y向步进电机和相应的Y向传动结构组成的Y向运动单元，和设置在Y向运动单元上的X向运动单元。承片台设置在可作X向往复式运动的运动单元上。

主权项

1.用于激光共聚焦生物芯片的扫描装置，其特征是在一个可在二维平面内任意移动的运动结构上设置有一个可承托被检测芯片的承片台(15)，在承片台(15)的上方设置有扫描用激光光学结构系统，扫用描激光光学结构系统包括有能将扫描用的照射激光聚焦于位于承片台(15)上的被检测芯片上的第一透镜结构(1)，和用于将激光输出结构投射来的照射激光向第一透镜结构(1)反射的二色分光镜(2)，在沿第一透镜结构(1)光轴方向的二色分光镜(2)的另一侧，沿光路依次设置有滤光结构(4)、成像透镜结构(5)、小孔光阑(6)和光电转换/输出结构(7)；可在二维平面内任意移动的运动结构包括由Y向步进电机(13)和相应的Y向传动结构(8)组成的Y向运动单元(11)，和设置在Y向运动单元(11)上的X向运动单元，X向运动单元包括一组可由X向步进电机和相应的传动结构驱动下可在与Y方向垂直的X方向上作往复式运动的滑块单元(9)，承片台(15)设置在可作X向往复移动的滑块单元(9)上。