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发明名称 Method of Manufacturing a Micromechanical Sensor
摘要
申请公布号 EP0979992(B1) 申请公布日期 2003.10.08
申请号 EP19990112978 申请日期 1999.07.05
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 AIGNER, ROBERT, DR.;BEVER, THOMAS, DR.;TIMME, HANS-JOERG, DR.
分类号 B06B1/06;B81B3/00;B81C1/00;G01L9/00;G01L9/12;H01L41/09;H04R19/00;(IPC1-7):G01L9/00 主分类号 B06B1/06
代理机构 代理人
主权项
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