发明名称 A MORPHOLOGICAL INSPECTION METHOD BASED ON SKELETONIZATION
摘要 A morphological inspection method based on a comparison of real images - a real reference image and a real inspected image of an inspected object is disclosed.
申请公布号 WO03081531(A1) 申请公布日期 2003.10.02
申请号 WO2003IL00227 申请日期 2003.03.17
申请人 CAMTEK LTD.;FLIESWASSER, RONI;YANUKA, MOTI;DOLGIN, BORIS 发明人 FLIESWASSER, RONI;YANUKA, MOTI;DOLGIN, BORIS
分类号 G01B11/24;G01N21/956;G06T1/00;G06T5/00;G06T5/30;G06T7/00;H01L21/66 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
地址