摘要 |
Die Erfindung betrifft eine drehbare Rohrkathode (2) für Sputteranlagen, in denen z. B. Fenstergläser beschichtet werden. Diese Rohrkathode (2) weist in üblicher Weise eine Fluid-Kühlung (4, 5) auf. Damit sie leichter ausgetauscht werden kann, ist zwischen dem sich auf dem Umfang der Rohrkathode befindlichen Target (30) bzw. dem Targetträger und der zentralen Längsachse der Rohrkathode (2) eine zylindrische und elastische Folie (36) vorgesehen. Diese Folie (36) dichtet dabei den Fluidkreislauf gegenüber dem Target (30) ab und bildet somit ein geschlossenes System.
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