发明名称 Drehbare Rohrkatode
摘要 Die Erfindung betrifft eine drehbare Rohrkathode (2) für Sputteranlagen, in denen z. B. Fenstergläser beschichtet werden. Diese Rohrkathode (2) weist in üblicher Weise eine Fluid-Kühlung (4, 5) auf. Damit sie leichter ausgetauscht werden kann, ist zwischen dem sich auf dem Umfang der Rohrkathode befindlichen Target (30) bzw. dem Targetträger und der zentralen Längsachse der Rohrkathode (2) eine zylindrische und elastische Folie (36) vorgesehen. Diese Folie (36) dichtet dabei den Fluidkreislauf gegenüber dem Target (30) ab und bildet somit ein geschlossenes System.
申请公布号 DE10213049(A1) 申请公布日期 2003.10.02
申请号 DE20021013049 申请日期 2002.03.22
申请人 WURCZINGER, DIETER 发明人 WURCZINGER, DIETER
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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