发明名称 PRESSURE TRANSDUCER WITH THERMAL PLATE AND SPRING
摘要
申请公布号 EP1348111(A1) 申请公布日期 2003.10.01
申请号 EP20010988435 申请日期 2001.12.21
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 POULIN, JAMES, M.;MATHEW, SHANTI, E.;MINDLIN, LEONID;QUIGLEY, CLAUDIA, J.;BLANKENSHIP, STEVEN, D.
分类号 G01L9/12;G01L9/00;G01L19/04;G01L19/14;(IPC1-7):G01L19/04 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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