| 发明名称 |
MIM CAPACITOR WITH METAL NITRIDE ELECTRODE MATERIALS AND METHOD OF FORMATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003213777(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.29 |
| 申请号 |
AU20030213777 |
申请日期 |
2003.03.10 |
| 申请人 |
MICRON TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
CEM BASCERI;THOMAS, M. GRAETTINGER |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/285;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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