发明名称 构件之交接装置
摘要 提供一种即使不增加交接装置之构成元件数,也可以缩短指标时间,可增大处理能力,而且可抑制制造成本之上昇之新颖的构件之交接装置。在藉由依伺服马达1之球形螺丝2之旋转向左右方向移动的X驱动部12,安装有左右一对之活动部7安装成向Z方向移动自如之状态,在该处;分别经由调心机构8分别安装有两支接触柄6,在活动部7向X方向滑动自如地安装有Z驱动部6,而Z驱动部6系卡合于球形螺丝4,球形螺丝4系连接于伺服马达3,藉由伺服马达3旋转球形螺丝4时,则Z驱动部6系向图示上下方向移动,而可昇降活动部7。
申请公布号 TW365567 申请公布日期 1999.08.01
申请号 TW086108470 申请日期 1997.06.17
申请人 发明人
分类号 B25J9/02;H01L21/66 主分类号 B25J9/02
代理机构 代理人
主权项 1.一种构件之交接装置,其特征为具有:构成在构件 施以所定处理的处理部,及用以供应及排出配设于 该处理部之一侧之上述构件所用的第1交接部,及 用以供应及排出配设于上述处理部之另一侧之上 述构件所用的第2交接部,及构成可移动在上述处 理部与上述第1交接部之间,且构成可保持上述构 件的第1保持部,及构成可移动在上述处理部与上 述第2交接部之间,且构成可保持上述构件的第2保 持部,及将上述第1保持部及上述第2保持部交互地 从上述第1交接部及上述第2交接部向上述处理部 施以往复动作的主驱动机构,及将上述第1保持部 接近远离于上述处理部及上述第1交接部的第1补 助驱动机构,及将上述第2保持部接近远离上述处 理部及上述第2交接部的第2补助机构。2.如申请专 利范围第1项所述的构件之交接装置,其中,上述主 驱动机构系将上述第1保持部及上述第2保持部向 第1方向直线地往复移动者;上述第1补助驱动机构 及上述第2补助驱动机构系将上述第1保持部及上 述第2保持部向与上述第1方向交叉之第2方向直线 地往复移动者。3.如申请专利范围第2项所述的构 件之交接装置,其中,在上述第1补助驱动机构设有 将上述第1保持部卡合成可移动自如向上述第1方 向,且保持向上述第2方向之第1连结构件,及用以将 该第1连结构件向上述第2方向移动所用之被固定 的第1驱动源,而在上述第2补助驱动机构设有将上 述第2保持部卡合成可移动自如向上述第1方向,且 保持向上述第2方向移动所用之被固定的第2驱动 源。4.如申请专利范围第2项所述的构件之交接装 置,其中,构成至少部分地重叠依上述主驱动机构 之上述第1保持部及上述第2保持部向上述第1方向 之移动期间,及依上述第1补助驱动机构及上述第2 补助机构之上述第1保持部及上述第2保持部向上 述第2方向之移动期间者。5.如申请专利范围第1项 至第4项中任何一项所述的构件之交接装置,其中, 上述主驱动机构系构成均将上述第1保持部及上述 第2保持部以相同方向及相同速度施行动的单一驱 动系统者。图式简单说明: 第一图系表示本发明的构件之交接装置之实施形 态之主要构造之第1动作状态的概略斜视图。 第二图系表示同实施形态之第2动作状态的概略斜 视图。 第三图系表示同实施形态之第3动作状态的概略斜 视图。 第四图系表示同实施形态之第4动作状态的概略斜 视图。 第五图系表示同实施形态之各部之动作状态的图 式。 第六图系表示同实施形态之一对接触柄之移动状 态的说明图。 第七图系表示同实施形态之X驱动系统,Z1轴及Z2轴 之动作状态的图表图。 第八图系表示同实施形态之接触柄之构造的放大 局部剖面图。 第九图系表示以往之IC处理器之构造的概略斜视 图。 第十图系表示改良以往之IC处理器之情形之构成 的概略斜视图。
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