| 主权项 |
1.一种化学机械研磨的方法,用于研磨一物质,该方法至少包括:提供一研浆,以进行一主研磨步骤;以及加入一溶剂与该研浆混合,以进行一过研磨步骤。2.如申请专利范围第1项所述之化学机械研磨的方法,其中该溶剂系选自一族群,该族群包括由水和醇类所组成。3.如申请专利范围第2项所述之化学机械研磨的方法,其中醇类包括异丙醇。4.一种化学机械研磨的方法,用于金属镶嵌制程和双重金属镶嵌制程,该方法至少包括:提供一研浆,以进行一金属之一主研磨步骤;以及将该研浆与一溶剂混合,以进行一过研磨步骤。5.如申请专利范围第4项所述之化学机械研磨的方法,其中该研浆包括由一氧化剂和一研磨剂所组成。6.如申请专利范围第4项所述之化学机械研磨的方法,其中该氧化剂系选自一族群,该族群包括由H2O2和Fe(NO3)2所组成。7.如申请专利范围第5项所述之化学机械研磨的方法,其中该溶剂系选自一族群,该族群包括由水和醇类所组成。8.如申请专利范围第7项所述之化学机械研磨的方法,其中醇类包括异丙醇。9.如申请专利范围第4项所述之化学机械研磨的方法,其中该溶剂系选自一族群,该族群包括由水和醇类所组成。10.如申请专利范围第9项所述之化学机械研磨的方法,其中醇类包括异丙醇。图式简单说明:第一图系绘示根据本发明一较佳实施例之一种化学机械研磨之方法的流程图;以及第二图A至第二图C系绘示将本发明之化学机械研磨的方法应用于金属镶嵌制程的流程剖面图。 |
