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<p>Die Erfindung betrifft optische Elemente, Verfahren zur Herstellung solcher optischer Elemente und die Bestimmung der erreichten optischen Eigenschaften. Bei den optischen Elementen handelt es sich insbesondere um solche für die Reflexion, Transmission, Führung und/oder Filterung elektromagnetischer Strahlung im Wellenlängenbereich zwischen 100 und 400 nm. Auf einem Substrat ist dabei mindestens eine Schicht eines metallischen Fluorides ausgebildet. Mit der erfindungsgemässen Lösung sollen die optischen Eigenschaften verbessert und insbesondere der störende Einfluss von Lumineszenz weitestgehend vermieden werden. Im Anschluss an die Schichtausbildung können die so hergestellten optischen Elemente durch Bestrahlung mit elektromagnetischer Strahlung einer vorgebbaren Wellenlänge bestrahlt und die Lumineszenzintensität mit optischen Detektoren bestimmt werden.</p> |
