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<p>Dispositif de mesure spectrale haute résolution. Dans un mode de réalisation préféré, ce dispositif possède une fente extrêmement étroite dans la plage ultraviolette qui est très utile pour mesurer la largeur de bande des lasers excimères à bande étroite mis en application en lithographie des circuits intégrés. La lumière émise par le laser est concentrée dans une diffuseur et la lumière diffusée sortant de ce diffuseur éclaire un étalon. Une partie de la lumière sortant de cet étalon est recueillie et dirigée vers une fente placée à la périphérie de cet étalon. La lumière traversant la fente est collimatée et la lumière collimatée éclaire un réseau positionné selon une configuration approximative de Littrow qui disperse la lumière en fonction de sa longueur d'onde. Une partie de la lumière dispersée représentant la longueur d'onde correspondant à la partie périphérique de l'étalon sélectionnée passe à travers une deuxième fente et est contrôlée par un détecteur de lumière. Quand l'étalon et le réseau sont accordés sur la même longueur d'onde précise, une fonction de fente extrêmement étroite est définie, telle que 0,034pm (FWHM) et 0,091pm (intégral 95 %). Il est possible de mesurer avec une extrême précision la largeur de bande du faisceau laser, ce qui consiste à diriger une partie de ce faisceau dans l'isolateur et à analyser sa longueur d'onde dans une plage comprenant en longueur d'onde de fente de monochromateur. Dans un deuxième mode de réalisation, la deuxième fente et le détecteur de lumière sont remplacés par un groupe de photodiodes et la largeur de bande du faisceau laser est déterminée par analyse d'un ensemble de données provenant de ce groupe de photodiodes. Dans un autre mode de réalisation, il est également possible de définir la longueur d'onde laser à proximité du milieu de la plage spectrale du spectromètre à réseau et d'analyser l'étalon.</p> |
