发明名称 Einkristalline Siliciumscheibe mit einer erhöhten mechanischen Festigkeit
摘要
申请公布号 DE69817118(D1) 申请公布日期 2003.09.18
申请号 DE19986017118 申请日期 1998.10.14
申请人 STMICROELECTRONICS S.A., MONTROUGE 发明人 VANDEPUTTE, JACQUES;BOURDET, FLORINE
分类号 H01L21/304;C30B33/00;H01L21/02;H01L29/02;(IPC1-7):C30B33/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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