固体摄像装置及其制造方法

摘要

本发明的固体摄像装置具备垂直电荷转送部；与垂直电荷转送部的至少一方端部连接的水平电荷转送部。垂直电荷转送部具备垂直转送沟道区；在垂直转送沟道区上形成的多个垂直转送电极。水平电荷转送部具备水平转送沟道区；在水平转送沟道区上形成的多个第1水平转送电极；在第1水平转送电极之间配置的多个第2水平转送电极，构成为第1水平转送电极下的电位高于与该电极邻接且配置在由该电极转送方向后方的第2水平转送电极下的电位。在垂直电荷转送部与水平电荷转送部的连接部，配置于垂直电荷转送部终端的最终垂直转送电极与水平电荷转送部的第1水平转送电极之间的距离等于或短于水平电荷转送部中的第1水平转送电极之间的距离。

主权项

1.一种固体摄像装置，其构成为：具备垂直电荷转送部；与上述垂直电荷转送部的至少一方的端部连接，接受从上述垂直电荷转送部转送的电荷，并将其转送的水平电荷转送部，其中上述垂直电荷转送部具备垂直转送沟道区；在上述垂直转送沟道区上形成的多个垂直转送电极，上述水平电荷转送部具备水平转送沟道区；在上述水平转送沟道区上形成的多个第1水平转送电极；在上述第1水平转送电极之间配置的多个第2水平转送电极，上述第1水平转送电极下的电位高于与该电极邻接，而且被配置在该电极相对转送方向的后方的第2水平转送电极下的电位，其特征在于：在上述垂直电荷转送部与上述水平电荷转送部的连接部，配置于上述垂直电荷转送部的终端的最终垂直转送电极与上述水平电荷转送部的上述第1水平转送电极被按照互相分离的原则配置，在该最终垂直转送电极与第1水平转送电极之间配置有上述第2水平转送电极，上述连接部中的上述最终垂直转送电极与上述第1水平转送电极之间的距离等于或短于上述水平电荷转送部中的上述第1水平转送电极之间的距离。