半导体晶圆乾式蚀刻用电极

摘要

本发明所揭示者为一半导体晶圆之乾式蚀刻用电极。该电极系一成对出现之电极组，包括有一第一电极与一第二电极，其中该第一电极含有一第一扁平部及一大小相当于一半导体晶圆之周缘一表面之环状第一凸缘，而该第二电极则含有一第二扁平部及一大小相当于该半导体晶圆之周缘另一表面之环状第二凸缘，又，该第一扁平部与第二扁平部大小相当，且该第一凸缘与第二凸缘大小也相当。