| 摘要 |
本发明提供数种电浆处理装置及电浆处理方法，能够维持安定的放电，获得充分的电浆处理能力，而且可降低电浆温度。该电浆处理装置，为由复数的电极并列设置，在电极间形成放电空间，至少在一个电极的放电空间侧设介电质，在放电空间供给电浆生成用气体并在电极间施加电压，使放电空间于接近大气压之压力下发生放电，并将该放电生成的电浆自放电空间吹出之装置。在该电极间施加之电压的波形为无休止时间的交流电压波形，且该交流电压波形的上升时间与下降时间的至少一方在100μsec以下，重复频率数在0.5~1000KHz，在电极间施加之电场强度为0.5~200kV/cm。 |
