发明名称 A substrate transfer apparatus
摘要
申请公布号 KR101131181(B1) 申请公布日期 2012.03.28
申请号 KR20090015312 申请日期 2009.02.24
申请人 发明人
分类号 B65G49/06;B65G13/02;B65G49/07;H01L21/677 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人
主权项
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