发明名称 SISTEMA DE HORNO DE DIFUSION HORIZONTAL Y ALTO RENDIMIENTO.
摘要 LA EJECUCION DE UN HORNO (10) DE DIFUSION DE ALTA TEMPERATURA ES MEJORADA POR UN DISEÑO (11) DE MODULO MULTI HORNO. EL HORNO (10) ESTA CONSTRUIDO DE MATERIALES ADECUADOS PARA ENTORNOS DE CUARTO LIMPIO CON UNA JUNTA (59) DE ARMAZON DE NIVELACION AJUSTABLE. UNA JUNTA EXTERNA (31) LATERAL Y MECANISMO (85) DE ALINEAMIENTO DE ELEMENTO CALENTADOR DE MODULOS (25) DE TUBO DE HORNO INDIVIDUAL CON UN MECANISMO DE ELEVACION DE ELEMENTO CALENTADOR PERMITE MANTENIMIENTO MEJORADO. LA EJECUCION DEL TRATAMIENTO DE CALOR ES MEJORADA POR UN ELEMENTO (12) CALENTADOR SELLADO CON SISTEMA (15, 16, 30) DE REFRIGERACION DE MODULO DE HORNO INDIVIDUAL. ACOPLAMIENTO (107) TERMICO MEJORADO ESTA COLOCADO PARA MEJORAR EL CONTROL DE PROCESO DE TRATAMIENTO DE CALOR Y EL MANTENIMIENTO DEL ELEMENTO DE CALENTAMIENTO.
申请公布号 ES2191665(T3) 申请公布日期 2003.09.16
申请号 ES19930916481T 申请日期 1993.06.09
申请人 THERMTEC, INC. 发明人 PECK, KEVIN, B.;ERICKSON, RONALD, E.;MATTHEWS, STEPHEN, H.
分类号 F27D1/00;C30B31/10;F27B5/04;F27B5/14;F27D7/06;F27D21/00;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H05B3/10;H05B3/64;F27B5/00;C23C16/00;F27D3/00;C30B31/12 主分类号 F27D1/00
代理机构 代理人
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