| 发明名称 |
Prevention of contamination of optical elements and cleaning said elements |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2003218706(A8) |
申请公布日期 |
2003.09.16 |
| 申请号 |
AU20030218706 |
申请日期 |
2003.03.07 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
FRANK STIETZ;ROMAN KLEIN;MARCO WEDOWSKI;BAS MERTENS |
| 分类号 |
G21K1/06;B08B7/00;G03F7/20;G21K5/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G21K1/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
