| 发明名称 |
EVALUATING A MULTI-LAYERED STRUCTURE FOR VOIDS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003217866(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.16 |
| 申请号 |
AU20030217866 |
申请日期 |
2003.02.28 |
| 申请人 |
BOXER CROSS, INC. |
发明人 |
PETER, G. BORDEN;JIPING LI |
| 分类号 |
G01N21/00;G01D;G01N21/17;G01N21/21;G01N21/84;G01N21/88;G01N21/95;G01R31/26;G01R31/265;H01L21/265;H01L21/4763;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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