发明名称 Thin film structures in devices with a fiber on a substrate
摘要 Thin-film techniques in forming fiber devices that engage fibers to a substrate with different material properties. Structure buffering, diffusion bonding, and thickness monitoring may be achieved by such thin-film techniques.
申请公布号 US6621951(B1) 申请公布日期 2003.09.16
申请号 US20010894977 申请日期 2001.06.27
申请人 OLUMA, INC. 发明人 ZHAO SHULAI;PI BO
分类号 G02B6/26;G02B6/28;G02B6/30;G02B6/34;G02B6/35;G02B6/36;G02B6/38;(IPC1-7):G02B6/26 主分类号 G02B6/26
代理机构 代理人
主权项
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