| 发明名称 |
BACK END OF LINE CLONE TEST VEHICLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003216443(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.16 |
| 申请号 |
AU20030216443 |
申请日期 |
2003.02.27 |
| 申请人 |
PDF SOLUTIONS, INC. |
发明人 |
CHRISTOPHER HESS;DENNIS, J. CIPLICKAS |
| 分类号 |
H01L21/027;H01L21/66;H01L23/544;(IPC1-7):G06F17/50 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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